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日本JEOL离子切片仪EM-09100IS
用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER样品制备的创新方法 离子切片仪制备薄膜样品比传统制备工具快速、简单。低能量、低角度（0°到6°）的氩离子束通过遮光带照射样品，大大降低了离子束对样品的辐照损坏。即使是柔软的材料，制备的薄膜质量也极好，对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。
· 产品规格
EM-09100IS | ||
离子加速电压 | 1 ～ 8kV | |
倾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
离子束直径 | 500μm(FWHM) | |
Milling rate | 5m/min (加速电压:8 kV， Si换算) | |
使用气体 | 氩气 | |
**样品尺寸 | 2.8mm(长度)×0.5 mm(宽度)×0.1mm(厚度) | |
压力测试 | 潘宁规 | |
主抽真空系统 | 涡轮分子泵 | |
CCD相机 | 内置 | |
尺寸 重量 | 主机 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
机械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
液晶显示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
· 安装条件
EM-09100IS | |
电源 | 单相， AC100 ～ 120V， 50/60Hz， 500 ～ 600VA |
接地线 | 独立地线(100Ω以下) |
氩气 | 使用压力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2) 氩气流量：约0.2立方厘米 纯度: 99.9999%以上 (氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/8 |
室温 | 20 ～ 25℃(fluctuation: 1°C/hor less变动少于1°C/h) |
湿度 | 60% 以下 |
· *请提供安放设备的桌子。
· *产品外观及技术规格可能未经预告而有所变更。
产品特点：
· 用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER样品制备的创新方法
· 离子切片仪制备薄膜样品除了需要将样品切成矩形薄片外，不需要溶剂或化学试剂及前处理（打磨或凹坑研磨），比传统制备工具快速、简单。低能量、低角度（0°到6°）的氩离子束通过遮光带照射样品，大大降低了离子束对样品的辐照损坏。即使是柔软的材料，制备的薄膜质量也极好，对不同成份的样品甚至含有多孔合成物也都能够有效制备。
· 主要特点:
· 高质量的透射电镜样品的前处理
· 快速制备
· 无需复杂的前处理
· *小限度的表面损伤
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