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离子溅射仪MC1000
离子溅射仪MC1000

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日本

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似空科学仪器(上海)有限公司

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采用磁控型电极,**限度地减轻对样品的损坏。

特色

  • 采用LCD触摸屏,可以更加简便地设定加工条件

  • 可处理较厚或较大的样品(选配件)

  • 记忆功能可存储常用加工条件

规格

项目说明
放电类型磁控二极管放电型(电场垂直于磁场)
电极组成反向平行盘(嵌入磁铁)
电压** 0.4 kV DC(直流可变)
电流** 40 mA DC
喷镀速率*1(**)

[条件]

压力:7 Pa

放电电流:40 mA

标靶与样品表面之间的距离:20 mm

Pt 靶(选配件)15 nm/min
Pt-Pd 靶(选配件)20 nm/min
Au 靶(选配件)35 nm/min
Au-Pd 靶(选配件)25 nm/min
样品尺寸**直径φ60 mm
**高度20 mm
机械泵135/162 l/min (50/60Hz)
靶材*2Pt , Pt-Pd (8:2) , Au , Au-Pd (6:4)
电源要求单相, 100 V AC (±10%) 15 A (50/60 Hz), 3-针插头线缆(3 m)
尺寸宽度450 mm
长度391 mm
高度390 mm
重量主机:约 25 kg

机械泵:约 28 kg

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产品质量

10分

售后服务

10分

易用性

10分

性价比

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