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Micro-Vu的高精度视觉量测系统具有强大的功能性，可被广泛的应用在各种量测的需求先进的机构设计造就了高性能的速度与精度，前瞻性的机电整合技术，运用USB传输，简化了量仪与电脑的沟通InSpec for Windows 几何量测软件提供简易且人性化的接口，让量测、资料转换及报表输出变得容易操作与上手，InSpec提供的光源系统提升了寻边与自动对焦的辨识能力与功能。
规格参数：
技术参数 | Model | 501 UC | 502 UC |
实体特性 | 测量范围 | 400mm×500mm×150mm | 400mm×500mm×250mm |
仪器外观尺寸 | 1100mm×1200mm×1550mm | 1100mm×1200mm×1650mm | |
净重 | 860kg | 900kg | |
X，Y轴大速度 | 700mm／s | 700mm／s | |
X，Y轴大加速度 | 1400mm／s2 | 1000／s2 | |
Z轴大速度 | 100mm／s2 | 100mm／s2 | |
Z轴大加速度 | 450mm／s2 | 450mm／s2 | |
光栅尺分辨率 | 0.1μm | ||
X，Y轴精度 | 2.5+L／200μm | 2.8+L／200μm | |
Z轴精度 | 2.5+L／100μm | 3.0+L／100μm | |
变焦镜头（光学，数位） | 36x（12x，3x） | ||
放大倍率 | 15x -540x to 30x -1080x | ||
工作台承重 | 100kg on Glass | ||
电源参数 | 输入电压 | 93-264 VAC | |
输入电流 | 47-63 Hz | ||
环境参数 | 操作环境温度 | 20℃±2.0℃ | |
静置环境温度 | -25℃-60℃ | ||
适当的温度 | 30%-80% | ||
仪器噪音值 | <70dB(A) | ||
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