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⊙ 真正研磨至纳米级高端研磨机
⊙ 棒销研磨腔设计
⊙ 批次、循环研磨,操作方便
⊙ 循环流量大,效率高
⊙ 分离系统采用了动态分离器,可以使用0.1mm氧化锆珠
⊙ 研磨筒可为双冷却系统,效果好,也可强制冷却
⊙ 进口双端面机械密封,带强制冷却
⊙ 研磨细度好,粒径分布窄,*小研磨细度在D97≤70nm
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