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一、 产品应用:
JS-1600M型磁控溅射仪是依据二极(DC)直流溅射原理设计而成的,*简单、可靠、经济的镀膜设备。适用于电镜实验室的扫描电子显微镜(SEM)样品制备,非导体材料实验电极制作。
二、 配置及技术指标:
1. 本系统装配了水冷却磁控靶,靶面直径为50 mm
2. 主机规格:L360mm*W300mm*H380mm
3. 靶(上部电极):金:直径:50mm,厚度:0.1mm
4. 真空样品室: 直径:160mm,高:120mm
5. 溅射面积: Ф50mm
6. 真空指示表: **真空度:≤ 4X10-2 mbar
7. 离子电流表: **电流:100mA
8. 定时器: *长时间:3600S
9. 微型真空气阀: 可连接φ3mm软管
10. 可通入气体: 多种
11. **电压: -1600 DCV
12. 机械泵: 2L/S
三、 产品特点
1. 轻便、溅射面积大
2. 可以溅射铂、金及银等金属
3. 溅射效率高,可水冷降温
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