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1200低真空CVD系统
1200低真空CVD系统

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简介

1200℃低真空CVD系统是由滑动式管式实验电炉,混气系统,真空及压力系统等组成。此系统烧结温度可达1200℃,通过滑动炉体来实现快速的升降温;配置不同的真空系统来达到理想的真空度;同时通过三路高精度质量流量计控制不同气体。是为石墨烯生长、研发的专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。

主要技术参数

炉体结构

整机采用SUS304不锈钢材质,流线型外观,断热式结构;

日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛,保温性能好;

炉子底部装有一对滑轨,移动平稳;

炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却;

支撑两端安装油压缓冲器;

炉盖可开启,可以实时观察加热的物料

尺寸重量

1240*600*1340mm;170kg

电源

电压:AC220V 50/60Hz;功率:4KW

炉管

高纯石英管,高温下化学稳定性强,耐腐蚀,热膨胀系数极小;

尺寸:Φ60/80/100*1200mm

法兰及支撑

SUS304不锈钢快速法兰,通过用高温“O”型圈紧密密封可获得高真空;

一个卡箍就能完成法兰的连接,放、取物料方便快捷;

可调节的法兰支撑,平衡炉管的受力支撑;

包含进气、出气、真空抽口针阀,KF密封圈及卡箍组合。

加热系统

加热元件采用优质合金丝,表面负荷高、经久耐用; 加热区长度:300mm;恒温区长度:150mm; 工作温度:≤1150℃; **温度:1200℃;

升温速率:推荐≤10℃/min,*快升温速度30℃/min

温控系统

日本富士仪表,64段控温程序,可分步、分段; 测温元件:N型热电偶; 控温精度:±1℃

混气系统

三路质量流量计:数字显示、气体流量自动控制

内置不锈钢混气箱,每路气体管路均配有逆止阀

管路采用不锈钢管,接口为Φ6卡套

每路气体进气管路配有不锈钢针阀

通过控制面板上的旋钮来调节气体流量

流量规格:0~1SLM 流量精度:±1.5%

真空系统

采用双极旋片真空泵,真空度可达10Pa

可选配件

高真空系统,各种刚玉、石英坩埚,石英管,计算机控制软件

保修期

整机一年保修(相关耗材除外)

可根据客户要求定制!

特色与优势

1.滑动式炉体结构实现快速升降温;

2.开启式炉盖设置,降低沉积温度、加快沉积速度;

3.日本富士温控仪表,64段控温程序,可分布,分段,三路质量流量计,数字显示精确控制气体流量;

4.双极旋片真空泵+分子泵,实现对真空度的不同要求,极限真空可达4.0*10-4Pa。

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产品质量

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售后服务

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易用性

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性价比

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