“狭缝涂布精密成膜装备系统”是一个高端先进制造业项目，其成膜技术可在玻璃、塑料、不锈钢等基体上精确涂布制备功能纳米、微米薄膜，在许多光电领域，如平板显示、触摸屏、薄膜太阳能电池、半导体元器件及封装、柔性及印制电子、智能玻璃等，有着非常广泛的应用。

从研发用150mm平台到6代线，为用户提供灵活多变的配置方案。不仅用于光学膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、扩散膜等)、OLED涂布等，还可以用于有机太阳能电池OPV和钙钛矿太阳能电池PVK等成卷基材的涂布，也应用于非连续基材如LCD玻璃基板光阻涂布。

狭缝涂布技术适用于各种涂布液，可广泛应用于不同基材表面的涂布，如玻璃，不锈钢和塑料基片涂布模具相对于基片精确地运动，并精确检测控制工艺流体及其涂布速度。

优势

可涂布不同粘度的各种材料

涂布厚度范围广泛:从20nm到150μm以上

很好的涂布一致性:通常优于±3%

效率高/材料利用率高:材料利用率可达95%

能够满足不同需求：从研发到小批量试制、大量生产

工艺具有高的可靠性和鲁棒性:良率可达到95%

适用于S2S和R2R加工模式

在一个工艺周期内可实现矩形阵列的涂布加工

过程参数

涂布间隙控制：动态控制涂布头高度 (z轴)

模具运动控制: 在涂布方向上(x轴)精确控制模具的运动轨迹(包括加速和减速参数)

模具设计: 针对高一致性、化学兼容性、低充填容量和条状涂布进行模具设计制造

涂布控制: 涂布速率(稳态涂布) 和涂布轮廓 (前后边缘)的高精度数字化控制

控制软件: 所有配方参数，数据监控和反馈控制，数据采集分析。

应用领域

平板显示

LCD， OLED， Flexible， Touch Screen

LCD， OLED， 柔性显示， 触摸屏

太阳能光伏

PV including CIGS， CdTe， OPV and C-Si

固态照明

OLED lighting

高附加值玻璃

可调光智能玻璃， 博物馆用玻璃

半导体， 微机电系统， 无线射频识别， 聚合物电池， 和各种有机及打印电子器件