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本离子溅射仪主要的特点就是“无油,高真空”,制备薄膜纯度更高,薄膜质量更优;并且能够在超净间内使用。
另外附加原位等离子清洗选配模块,针对SEM样品清除碳氢污染(有机物积碳污染),实现样品表面活化和亲水化处理。
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