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HXP高精度位移台
特征：
每个 Newport 六足位移台型号的联接系统都是独yi无二的，这样可以提高载重下的位置稳定性。Newport 六足位移台采用球形接头或万向接头设计，与相似尺寸的其他六足位移台相比，拥有五倍以上的刚度和两倍以上的载重能力。
六足位移台的顶板由六个同步的高性能促动器驱动，编码器安装在丝杠螺母上，用以实现精确 MIM、低侧隙与高速特性。
应用:
光学器件和卫星装配与测试
AED 模拟
天文
生物技术和外科手术
X 射线衍射
微加工和显微操纵
| 型号 | HXP50HA-MECA | HXP100HA-MECA | HXP100PHA-MECA |
|---|---|---|---|
| 尺寸 | ?200 x 151 mm | ?300 x 209 mm | ?300 x 209 mm |
| 行程范围 X、Y、Z 1 | ±17， ±15， ±7 mm | ±27.5， ±25， ±14 mm | ±27.5， ±25， ±14 mm |
| 行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ | ±9， ±8.5， ±18 ° | ±11.5， ±10.5， ±19 ° | ±11.5， ±10.5， ±19 ° |
| *小位移增量 X、Y、Z 2 | 0.10， 0.10， 0.05 μm | 0.50， 0.50， 0.25 μm | 0.10， 0.10， 0.05 μm |
| *小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ | 0.05， 0.05， 0.10 mdeg | 0.25， 0.25， 0.5 mdeg | 0.05， 0.05， 0.10 mdeg |
| 单向重复精度 X、Y、Z - 典型值 | ±0.10， ±0.10， ±0.05 μm | ±0.14， ±0.13， ±0.05μm | ±0.10， ±0.10， ±0.05 μm |
| 单向重复精度 X、Y、Z - 保证值 | ±0.15， ±0.15， ±0.075 μm | ±0.25， ±0.25， ±0.125 μm | ±0.15， ±0.15， ±0.075 μm |
| 单向重复精度 ΘX， ΘY， ΘZ - 典型值 | ±0.05， ±0.05， ±0.10 mdeg | ±0.125， ±0.125， ±0.25 mdeg | ±0.05， ±0.05， ±0.10 mdeg |
| *da速度 X、Y、Z | 14， 12， 5 mm/s | 2.5， 2， 1 mm/s | 12， 10， 5 mm/s |
| *da速度（ΘX、ΘY、ΘZ） | 6， 6， 15 °/s | 1.8， 1.7， 3 °/s | 8， 8， 16 °/s |
| 刚度（X、Y、Z） 3 | 2， 2， 25 N/μm | 5， 5， 40 N/μm | 3， 3， 24 N/μm |
| 俯仰 X、Y、Z，保证值 | ±50， ±50， ±25 μrad | ±75， ±75， ±75 μrad | ±37.5， ±37.5， ±37.5 μrad |
| 偏摆 X、Y、Z，保证值 | ±50， ±50， ±25 μrad | ±75， ±75， ±75 μrad | ±37， ±37， ±37 μrad |
| 中心负载 4 | 50 N | 200 N | 60 N |
| 电缆长度 | 3 m | 3 m | 3 m |
| 重量 | 2.2 kg | 7.2 kg | 7.2 kg |
| jue对精度 XYZ，保证值 | ±5.0， ±5.0， ±2.5 μm | ±10， ±10， ±5μm | ±5.0， ±5.0， ±2.5μm |
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