S500热式质量流量控制器能够在较大的量程范围内在线实时地精确控制气

流质量流量。利用气流流过不锈钢毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温

差方法，而测得气体质量流量；不同于测压力或测体积方法等类别流量计，其流

量精度不受气体压力、环境温度影响。上下游温差测量电路信号实时反映气流瞬

时流量，并通过PID电路实时控制比例电磁阀而精确控制流量，所以特别适用于过

程控制中在线实时的气体流量的精确测量和控制。

☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。

☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。

气阻较小，工作压力范围宽。

☆阀体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。

线路板、阀体、弹簧片、精密电阻和电容等为重要零部件，均执行严格的入厂标准。

☆可任意角度安装。

☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。

配合MT-50系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。

执行Q/CYHMT0001-2014 企业标准