CIF紫外臭氧清洗机

紫外臭氧清洗机（UVO），是一种简单，经济，快速高效的材料表面清洗设备，能快速去除大多数无机基材（比如石英，硅片，金，镍，铝，砷化镓，氧化铝等）上的有机污染物。

CIF紫外臭氧清洗机采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯，样品台高度可调并可选加热控温，以便达到*清洗效果。

产品特点

u 可编程数字控制器，设置操作简单方便，四键操作控制。

u 数字显示清洗时间，1-999分钟之间可自行设置清洗时间。

u 任何时间可以手动中断处理过程。

u 自动记录之前清洗参数设置。

u 样品台可控温（可选），控温范围RT-260℃，控温精度0.1℃。

u 上置式样品台设计，360度自由放置样品，操作方便。

u 样品台高度可调，通过调节灯与样品之间的间距，可以合理定位样品高度和位置，位置可锁定。

u UV石英低压汞蒸汽格栅灯，灯管寿命大约为8000小时。

u 高强度UV灯源，波长185nm和254nm。

u UV反射罩（长X宽）比UV格栅灯大2.5cm，比如规格为13x13cm格栅灯反射罩尺寸大于15×15cm。

u 双重安全保护，当清洗腔打开时，系统安全锁会关掉UV灯，并有灯光通断提示。

u 带进&出气口双气路设计，可接入氧气，增加臭氧产量。

u 可选臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。

技术参数

注：UVO型基础型样品台不带加热功能，样品台高度不可调；UVOP可选配样品台加热功能，样品台高度可调；UVOT标配样品台加热功能，样品台高度可调。