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MSA-600显微式激光测振仪
产品特点：
• 集多功能于一体的光学测量工作站
• 真正的实时测量，无需数据后处理
• ****的亚pm位移分辨率
• 测量速度快，振型可视化显示
• 操作界面直观友好
• 全自动化测量，易于集成至商用探针台上
技术参数：
• 微型结构的面外振动，测量单点振动或者两点间的相对振动
如：梳齿驱动器、射频MEMS开关、FEM有限元模型验证、CMUT、PMUT超声换能器、MEMS薄膜压力传感器、PZT压电悬臂梁等
• 微型结构的面内振动
如：梳齿驱动器、MEMS扭转激振器、压电陶瓷制动器的横向运动
• 微型结构的表面形貌
如：梳齿驱动器、微型齿轮、微流量传感器、悬臂梁等表面形貌
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