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六轴并联定位台，纳米/微米定位台，压电陶瓷/压电促动器，压电偏摆镜，压电控制器，直线电机/直线促动器，电容位置传感器
| 六轴并联定位台 六自由度高精度并联运动 无轴间运动串扰和误差累计 低运动惯量，高结构刚度 可自由设定旋转中心 特殊设计可承受1000公斤以上负载 | |
| 纳米定位台 从1轴到6轴运动 并联运动和并联测量技术 保持记录的高**精度与重复精度 可选电容传感器**可达0.02nm闭环分辨率 定制型号可选择铟钢、钛等不同材料 | |
| 微米定位台 从1轴到6轴的直线与旋转运动 直线电机/陶瓷电机/步进/直流伺服 独有的大行程纳米定位技术 力矩电机+气浮轴承超高精度转台 直线台/升降台/旋转台/摇摆台/多轴台 | |
| 压电陶瓷/压电促动器 **压电陶瓷技术，高可靠性，长寿命 亚纳米级位移分辨率，微秒级响应时间 输出力**可达50000N 无机械空回，无静摩擦和滑动摩擦 不受磁场干扰，提供真空、低温兼容产品 | |
| 压电偏摆镜 1维至2维超快可控偏摆运动 光学偏摆范围**可达120mrad 超快响应时间，超高角度定位精度 大量用于光学追踪、扫描、稳像等应用 可根据用户的不同需求进行定制 | |
| 直线电机/直线促动器 压电陶瓷电机/直线电机/步进/直流伺服 PiezoWalk技术提供毫米级运动行程和亚纳米级分辨率，大推力，可自锁 PiezoWalk系列超小尺寸高速运动 可根据不同推力、行程、速度和精度要求进行定制 | |
| 压电控制器 单系统1轴到6轴，以及多轴串接 模拟和数字多种内部结构可选 RS232，USB，TCP/IP等多种计算机接口 先进的低噪声驱动和高级控制算法 提供控制界面和二次开发包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等 | |
| 微米定位系统控制器 单通道及多通道系统 微步控制/混合控制/实时差补/并行控制 RS232，USB，TCP/IP，CAN等多种接口 多通道系统多种控制网络方式可选 提供控制界面和二次开发包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等 | |
| 电容位置传感器 位置、运动、振动的非接触测量 量程从10微米到1000微米 皮米级位移分辨率，10KHz的带宽 耐高温，长时间稳定性（<0.1nm/3h） 无磁及真空环境兼容 |
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