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氦镉激光器
PLASMA公司是世界上顶尖的气体激光器生产商，其产品主要特点是高质量、长寿命、中等价格。
1.标准设计，HCL系列
波长442nm | |||||
型号 | 功率(mW) | 横模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 发散角 (mrad) |
HCL-50V | 60 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-60V(I) | 80 | TEMOO | 100:1 | 1.6 | 0.9 |
HCL-70VМ(I) | 100 | 多模 | 1:1 | 2.0 | 2.5 |
HCL-100V | 100 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
HCL-100V(I) | 150 | TEMOO | 100:1 | 2.1 | 0.9 |
波长325nm | |||||
型号 | 功率(mW) | 横模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 发散角 (mrad) |
HCL-30UM(I)P | 30 | 多模 | 100:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-10U | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 0.9 |
HCL-30UM(I) | 35 | 多模 | 1:1 | 1.6 | 2.5 |
HCL-100U(I) | 30 | TEMOO | 100:1 | 1.7 | 0.9 |
波长442nm和325nm | |||||
型号 | 功率(mW) | 横模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 发散角 (mrad) |
HCL-40 | 5/35 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.4/1.4 | 0.9/0.9 |
HCL-40M | 10/40 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.5/0.9 |
HCL-40(I) | 15/50 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 1.5/1.5 | 2.0/0.9 |
HCL-100(I) | 20/100 | 多模/TEMOO | 100:1/100:1 | 2.0/2.0 | 2.0/0.9 |
注：带(I)的型号激光相干长度为30cm，不带(I)的型号相干长度为10cm
2.紧凑型设计，HCCL系列
波长442nm | |||||
型号 | 功率(mW) | 横模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 发散角 (mrad) |
HCCL-10V | 10 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
HCCL-20VМ | 20 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-25V | 25 | TEMOO | 100:1 | 1.5 | 1.3 |
波长325nm | |||||
型号 | 功率(mW) | 横模 | 偏振 | 光斑尺寸(mm) | 发散角 (mrad) |
HCCL-4UM | 6 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-8UM(I) | 12 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-15UM | 15 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
HCCL-30UM(I) | 25 | 多模 | 1:1 | 1.8 | 2.5 |
注：带(I)的型号激光相干长度30cm，不带(I)的型号相干长度10cm。
氮分子激光器
氮分子激光器的发射带在UV波段，主要是337.1nm 、357.7 nm、315.9 nm。
PLASMA 拥有横向和纵向激励的脉冲氮分子激光器，由于其独特的性能（波长337nm、脉冲宽度小于10ns、平均功率0.01-1W），被广泛应用于微电子领域如光掩模、复杂的集成电路、薄膜电阻的生产、处理。由于其短波长更易聚焦得到小光斑，因此被用于加工亚微米量级的元件。此外，还被用于多种感光材料的高效曝光光源。
参数 | NPL-3 | LGI-505 | LGI-511 |
波长， μm | 0.337 | 0.337 | 0.337 |
脉冲能量， μJ | 30 | 120 | 240 |
平均功率， mW | 3 | 120 | 240 |
光束直径， mm | 2 | 5 | 5 |
脉冲重复频率: | 1-100 | 5-1000 | 1 -1000 |
脉冲宽度， ns | 5±1 | 8 ±2 | 8 ±2 |
尺寸， mm | 350x325x150 | 484x510x215 | 1140x525x345 |
重量， kg | 10 | 35 | 105 |
电压， V | 220 | 220 | 220 |
功率消耗， w | 50 | 1200 | 1500 |
制冷方式 | 风冷 | 水冷 | 水冷 |
工作温度，OC | 0...+40 | 0...+40 | +10...+40 |
质保工作时间， h | 500 | 1000 | 500 |
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