Cressington 208HR SPUTTER COATER 超高分辨溅射镀膜仪

分子泵超高分辨非晶层镀膜，电镜放大倍率可到300K也不会看到镀膜颗粒，非常适合于现阶段超高分辨场发射电镜或双束电镜，电子探针等，如 FEI Nova， Megglen， Verios， Helios等， 日立电镜的SU80000， SU8200， S4800， 9000系列等， 日本电子 7600F， 7800F等， 蔡司的Merlin， Ultra， Gemini， Auriga系列等。

分子泵超高分辨镀膜，放大倍率可到30-60万倍也不会看到镀膜颗粒，适用于现阶段超高分辨场发射或双束电镜使用如FEI Nova，Megglen，Verios，Helios等; Hitachi SU8000，SU8200，S4800，9000等; JEOL 7600F 7800F等; ZEISS Merlin，Ultra，Auriga;

为了答谢广大中国电镜工作者对于英国Cressington产品信赖和支持，以及对于溢鑫科创工作的配合和支持，我司和英国原厂特举办回馈优惠活动：购置超高分辨208HR镀膜系统，将赠送超高分辨膜厚监控仪MTM-20以及高性能旋转倾斜样品台。

• **磁控冷态喷镀

  **冷态镀膜设计使用真正的“平衡磁控管”没有等离子体电流在样品，在得到高分辨非晶镀膜层同时避免样品受到热损伤，对热损伤或辐照损伤敏感样品尤为适合

• 广泛的镀层靶材选择

  特殊双极磁控管头设计和有效的气体离子处理使得208HR拥有广泛多种镀层靶材选择

• 全自动化设计

  自动的换气与泄气功能，溅射电流和电压通过磁控头的传感线监控，蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制保证了均匀一致的膜厚，和**的导电喷镀效果。

• 超高精度膜厚监控设计

  使用可选MTM-20全自动高分辨膜厚监控仪可优化设计镀膜条件达到0.1nm膜厚可控效果

• 多用途样品托设计

  独立的旋转，水平和倾斜 3轴移动设计优化了多样品以及不规则样品的均匀一直镀膜

• 可变的样品室几何设计

  为了优化镀层结构样品室几何设计可用于调整喷镀速度从1.0纳米每秒到0.002纳米每秒

• 广泛的操作气体压力

  独立的电压，电流以及压力回路控制系统允许可操作氩气压力从0.2-0.005mbar真空度

• 紧凑型时尚桌面式设计

  节能，紧凑设计消除了对于楼层空间要求，水要求和专业电气连接要求

镀膜不同多样样品

超高分辨208HR镀膜系统现在针对喷镀不同电镜样品提供了*理想的解决方案。为了减小喷镀晶粒尺寸影响，208HR提供一套全系列的镀膜靶材材料和****的膜厚镀层控制条件。为了更小优化充电效果，208HR的特殊样品台设计和大范围的操作压力提供了高精度的镀膜一致性和统一性。 高低样品室的配置也提供了更为方便的工作距离调整。

可调式旋转倾斜水平样品台超高分辨全自动膜厚监控仪 MTM-20

208HR超高分辨镀膜仪技术规格：

样品仓尺寸： 150mm 直径， 三个高度可调，适用高度不同样品，高强度硼硅酸盐玻璃

溅射管头：低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩

喷镀靶材：铬，铂/钯 标配， 金，钨，铜，铝，铱，银等选配，其他材料按客户需求提供

溅镀优点：基于微处理器反馈控制，远程电流/电压感应；提供真空安全联锁装置，**180A，配有过流保护，数字化可选电流（20，40，60 或80毫安）

样品台：可放置12个标准EM样品座，0到90度倾斜可调的旋转水平样品台

模拟计量：真空 Atm - 0.001mb 电流: 0 – 80mA

控制方式： 全自动喷镀控制，自动卸真空自动进气功能，使用可编程电压控制和计时数字计时 (0 – 300秒)以及暂停设计；全自动真空监测系统

真空系统： 标配无油分子泵真空以及机械泵真空系统，泵抽速达到每秒70L，1.5分钟内抽到真空度到1 x 10-4 mbar， 极限真空优于5 x 10-6 mbar，附带减震台的桌面式真空泵设计，全金属耦合系统

全自动超高分辨膜厚监控仪技术规格：

MTM-20 基于微处理控制，4位显示系统，6MHZ晶体监探器，每秒5次实时监控 MTM-20

膜厚监控范围： 0到999.9纳米

分辨率： 优于0.1纳米

密度范围：0.50到30.00gm/cm3

安装环境要求：

电源：200-240 VAC， 50/60Hz

功率：550VA

氩气要求：99.99% 纯氩气，压力设定0.5/0.6 bar， 6.0mm管路接口

设备尺寸：宽600mm， 深600mm，高450mm， 重量40kG

备注：为保证销售渠道正规，配套方案先进及统一的市场管理和售后服务，英国cressington在各个国家都只设**授权代理，中国官方授权总代为：溢鑫科创Yi Xin Technology，详细信息请参考英国原厂官方网址。