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1.主要的谱线超过10E15 photons/sec/ster
2.可以提供25nm以下波段的极紫外灯源
3.便携,质量小于1mg
4.可以连接单色仪,变成可调光源
5.杂散光低等。
极紫外EUV光源可以用在生物、化学、物理等研究领域,如有需求我司,谢谢。
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