激光系统

**能量

25mJ@ 266nm；能量输出 0-100%可调

重现率

20Hz，脉宽<6ns(FWHM)，DI 水冷却系统

能量控制

光学衰减连续可变

光斑大小控制

35-250 微米可调(到达样品表面的烧蚀光斑直径)

激光光闸

自动双光闸，稳定控制激光能量和 LIBS 信号测量

激光安全

I 级，样品放置区域有滤光器，有激光锁定保护

检测器系统

谱宽190-1040 nm

测量过程不不受环境温度变化的影响

分辨率λ/Δλ高达 6000

光谱精度优于±0.05nm

杂散光抑制

探测器门控

门延时为0.5ns-1ms

分辨率 0.5 ns

样品平台系统

全自动 XYZ 行程

XY 行程 100mmx100mm，Z 行程 35mm

XY 行程分辨率 0.2um，Z 行程分辨率 0.2um

XY 行程重现率 0.2um，Z 行程重现率 0.2um

速度 0.001-20 mm/s

气压可控

样品放置区域有滤光器，有激光锁定保护功能

含高效空气颗粒清洁器

具备专配 670 纳米激光协助样品高度自动调整功能

双 CMOS 相机，广角用于定位采样区域，高倍成像用于观察某一特定区域。并可在电脑屏幕上实时观察样品烧蚀过程

样品池-可充氦气或氩气惰性气体保护;锂电池样品需要保持在无水，无氧的条件下进行测量。测量碳，氮，氧，氢，氟等元素时;样品池需要保持在氦气气氛中。

操作软件

激光自动采样设置

单点、网格、光栅状、线性扫描或用户自定义设置

数据处理系统

包含谱线自动识别功能、光谱处理功能、LIBS 的强度监测、化学统计功能等

元素制图及深度分析控制

包含84种元素的Trulibs™光谱数据库和LIBS NIST 理论数据库（涵盖所有元素）

设置预脉冲个数用来清洗样品表面污染物

高度自动化的测量功能

元素特征线的自动标定、标准曲线建立（单变量和多变量校准曲线）、主成分回归功能可用于样品分类