Lyncee数字全息显微镜DHM R2100-参数-价格-中国粉体网

核心参数

R1000 系列

DHM^®-R1000系列配置单波长激光源，可以为您的样品提供实时三维检测，拥有亚纳米级分辨率，动态可测垂直台阶高度为333nm，而对于连续表面动态可测高度则达到了200μm。R1000系列是反射式DHM^®的*基本配置，性价比优势突出，使用极其便利。瞬渺代理

适用范围包括平滑表面、样品形貌、以及不超过333nm陡直台阶等。

DHM R1000系列光路示意图

R2100 系列

DHM®-R2100是按照能够同时使用双波长激光源测试的规格设计的，拥有亚纳米级分辨率，动态可测垂直台阶高度达到了2.1 μm，对于连续表面动态可测高度同样为200 μm。瞬渺代理

两个激光源拥有各自不同的参考光光路，但共用物光光路，主要优势在于：

可测垂直台阶高度增加到了2.1 μm

可以自由切换使用单、双激光源进行实时测试

Mapping算法保证在可测垂直台阶高度范围内的亚纳米测量精度

DHM®-R2100家族系列能够使用相机同时记录两束光分别产生的干涉条纹并投射到同一幅全息图上，之后还能对两束光分别进行数字重建。两束光源产生的合成波长使得动态可测垂直台阶扩展到了2.1 μm，这些过程均在视频速率下完成。

DHM R1000系列光路示意图

使用双光源系统与使用单光源系统相比一样便利。视不同被测样品情况，使用者可以自由切换使用单/双光源模式以获取不同可测台阶范围。

另外，通过结合单光源与合成光源的测量数据，在单光源模式下的亚纳米垂直测量精度能够利用功能强大的Mapping算法适用到双光源模式。

DHM® 双光源的原理

R2100 系列提供双光源测试模式，光源 λ_1 和光源λ_2将产生一个波长为Λ的合成光源。同时合成光源测试，在保持亚纳米级精度的同时，将动态可测垂直台阶高度增加到了2.1 μm，而对于连续表面动态可测高度同样为200 μm。

合成光源波长计算公式如下： Λ= (λ1 x λ2) / |λ1 – λ2| ， Λ?λ1， λ2

当然，双光源系统的两个光源也可以各自独立单独使用。

R2200 系列

DHM^®-R2200 是按照三波长激光源的规格设计的，拥有亚纳米级分辨率，动态可测垂直台阶高度达到了12 μm，对于连续表面动态可测高度同样为200 μm。

DHM^®-R2200 系列全息显微镜在实时测量方面达到了一个全新的高度。创新的光路设置包括了共用的物光光路以满足三光源配置。三个光源允许使用两组不同的双光源组合，也就是说有两个不同波长的合成光源供选择：

动态可测垂直台阶高度范围增加到了12 μm
可以自由切换使用单、双激光源进行实时测试
Mapping算法保证在可测垂直台阶高度范围内的亚纳米测量精度
使用双光源测量与单光源同样的便利性

DHM^®-R2200 系列除了拥有三光源，在其他方面与DHM^®-R2100系列有着同样的特点和功能。 DHM^®-R2200 系列能够使用相机同时记录两束光分别产生的干涉条纹并投射到同一幅全息图上，之后还能对两束光分别进行数字重建。两束光源产生的合成波长使得动态可测垂直台阶扩展到了12 μm，这些过程均在视频速率下完成。

DHM R2200系列光路示意图

使用三光源系统与使用单光源系统相比一样便利。视不同被测样品情况，使用者可以自由切换使用单/双光源模式以获取不同可测台阶范围。

DHM^®-R2200系列配置的第三光源用来与另外两个光源结合使用。因此在双光源使用模式下拥有一个短合成光波长和长合成光波长，进一步拓宽了动态测试范围。DHM^®-R2200系列的两种合成波长分别为6 μm 和30 μm，对于动态可测垂直台阶高度分别为2.1 μm和12 μm。

另外，通过结合单光源与合成光源的测量数据，在单光源模式下的亚纳米垂直测量精度能够利用功能强大的Mapping算法适用到双光源模式。

由于测量和图像抓取速率快，DHM^® 可以有效避免环境振动对测量带来的影响，防止出现图像模糊的情况。实时显示的三维动态形貌保证了DHM^® 使用的便利高效，而测量可以通过垂直相干扫描模式增加到厘米量级。

DHM^®双光源的原理

R2200 系列提供两组双光源测试模式，光源 λ_1 和光源λ_2将产生一个长合成波长Λ光源，在保持亚纳米级精度的同时，将动态可测垂直台阶高度增加到了12 μm，而对于连续表面动态可测高度同样为200 μm。

另外，光源 λ_1 和光源λ_3也可以合成一个短合成波长Λ光源，在保持亚纳米级精度的同时，将动态可测垂直台阶高度增加到了2.1 μm。合成光源波长计算公式如下：

Λ= (λ₁ x λ₂) / |λ₁– λ₂| ， Λ?λ₁， λ₂

Λ= (λ₁ x λ3) / |λ₁– λ3| ， Λ?λ₁， λ3

Mapping算法保证在可测垂直台阶高度范围内的亚纳米测量精度，每个光源也可以各自单独使用。

技术参数：

技术参数

参数指标

DHM型号	R1000	R2100	R2200
激光光源数量	1	2	3
工作波长 (± 1.0 nm)	666 nm	666 nm， 794 nm	666 nm， 794 nm， 680 nm
激光波长稳定性	0.01 nm / °C (666 nm)
样品台	手动或电动XYZ样品台，**移动范围 300 mm x 300 mm x 38 mm
物镜	放大倍数1.25x 至 100x，可选标准物镜、高NA值物镜、盖玻片矫正物镜、长工作距物镜、水镜、油镜等
物镜台	6口旋转物镜台
电脑	Dell*工作站，Intel® 多核处理器，高性能显卡针对DHM优化配置，小21寸显示器
专用软件	Koala专用数据采集分析软件，基于C++ 和.NET 附加专用分析软件供不同应用分析 (MEMS Analy sis Tool，Cell Analy sis Tool，Reflectometry Analy sis)
数据格式	多种保存格式，数据格式包括.bin格式和.txt格式图像格式包括：tif格式和.txt矩阵格式

性能

测量模式	单激光波长 666 nm	双激光合成波长 4.2 um	双激光合成波长 24 um
可用测量模式的DHM型号	R1000， R2100， R2200	R2100， R2200	R2200
测量精度[nm]	0.15	0.15 / 3.0	20
纵向分辨率[nm]	0.30	0.30 / 6.0	40
测量可重复性[nm]	0.01	0.01 / 0.1	0.5
动态可测纵向范围	**200um	**200um	**200um
**可测台阶高度	**333 nm	**2.1um	**12um
适用样品表面类型	平滑表面	复杂或非连续结构表面	复杂或非连续结构表面
垂直校准	由干涉滤光片决定，范围±0.1 nm
图像采集时间	标准 500us (*快可选10us)
图像采集速率	标准 30 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (*快可选 1000 帧/秒)
实时重建速率	标准 25 帧/秒 (1024 x 1024 像素) (*快可选 100 帧/秒)
横向分辨率	由所选物镜决定，** 300 nm
视场	由所选物镜决定，范围从 66um x 66um 至 5 mm x 5 mm
工作距	由所选物镜决定，范围从 0.3 至 18 mm
数码聚焦范围	**50倍于景深 (由所选物镜决定)
*小可测样品反射率	低于 1%
样品照明	*低 1uW/cm²
频闪模块	适用于单光源和双光源模式

创新点

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