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磁流体真空传动装置是把旋转运动传入真空容器的一种部品解决方案,杜绝了气体泄漏和污染,适用于对密封要求很高的场合。如今,在许多需要自由控制进给的装置上,真空传动装置已得到广泛应用,如在硅生长、目标位置电子指示器、溅射、等离子蚀刻、化学气相淀积、离子移置技术、液晶再生过程中,减少了不必要的停机时间,具有特殊意义。
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