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全碳化硅部件 (Solid sic、烧结碳化硅)品牌
苏州铠欣产地
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产品特点
纯度高，金属杂质含量<2ppm
>材料致密，无针孔、微裂纹缺陷
适用于半导体光刻、氧化扩散、刻蚀等多种设备
制备工艺根据产品需求定制
稳定性好，使用寿命长
应用领域
>半导体芯片制造
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