优势

· 纳米级纵向分辨率，适合光滑表面测量分析
· 简单、精确、快速、可重复的测量方式
· 可结合共焦显微反射光谱测量

测量功能

· 表面三维粗糙度非接触测量
· 表面微观三维结构测量
· 显微反射光谱测量（选）
· 一键式快速测量

适用对象

· 精密光学元件，微纳加工器件，金属机加工零件等

测量原理

· 白光干涉显微测量原理：采用白光光源，将非相干光干涉和高分辨率显微成像技术相结合形成微观三维轮廓，采用不同测量倍率物镜，纵向测量分辨率均可达到亚纳米量级
· 显微光谱测量：选配光谱模块可以实现表面微区光谱测量和厚膜测量功能

从产品研发到质量控制，Micro1000 系统可以用于对从超光滑镜面到粗糙面的各种样品进行表面微观测量分析和粗糙度质量评价。