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PECVD石墨舟
PECVD石墨舟

参考价格

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型号

PECVD石墨舟

品牌

浙江华熔

产地

浙江

样本

暂无
浙江华熔科技有限公司

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第1年

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产品描述


  • 石墨舟核心技术

· 二次纯化工艺,直接提高材料的纯度,长周期工况条件下,石墨舟各点电阻率仍保持优异的均匀一致性,保证电流均匀,降低镀膜色差,同时有效减缓石墨舟的氧化,提高寿命。

· 舟叶表面C-coating涂层工艺,舟页表面平面度、光洁度更好,使舟页和硅片之间接触面积更大,饱和以后使用次数增加,舟使用寿命延长。

· Balance加工工艺,**限度消除石墨舟片内应力,长周期使用后不易变形,有效减少热延展80%以上。


  • 石墨舟核心指标


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