主成分含量（%）：
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检测台玻璃、曝光机玻璃、筛选机玻璃盘等高精度、高平面度、平行度要求的产品加工； 化学减薄（超薄减薄、局部成型减薄）、精细蚀刻； 超深孔、超长孔、微孔、细孔、斜孔、锥孔加工；微米级外形尺寸加工；微流道成型加工；
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