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量程范围：0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
测量范围： 1% – 100% F.S.
精度：读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
可选高精度：读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
重复性：±0.2% F.S.
响应时间：<10 毫秒
工作温度：–10°C 至 +60°C
工作压力：160 PSIA (11 barA)
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