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型号 | FVA2515S | FVA3020S | FVA4030S | ||
测量行程（mm） | 250 x 150 x 200 | 300 x 200 x 200 | 400 x 300 x 200 | ||
外形尺寸（mm） | 750 x 575 x 1650 | 805 x 635 x 1650 | 931 x 735 x 1650 | ||
重量（kg） | 230 | 300 | 380 | ||
工作台承重（kg） | 30 | 30 | 30 | ||
运动控制 | 全闭环四轴自动控制 | ||||
测量精度（μm） | X/Y轴 | E2 = (1.5 + L/200) | |||
Z轴 | E1 = (3.0 + L/200) | ||||
**速度（mm/s） | X/Y轴 | 300 | |||
Z轴 | 200 | ||||
光源控制 | 表面光 | 五环八区四十项程控式LED冷光源 | |||
轮廓光 | 程控式LED平行冷光源，256级可调 | ||||
同轴光 | 可选配 | ||||
放大倍率 | 光学放大0.7 ~ 4.5x，影像放大22 ~ 145x | ||||
影像系统CCD | 高灵敏度高分辨率1/2” 黑白/彩色CCD | ||||
光栅尺 | 分辨率0.1μm Renishaw光栅尺 | ||||
软件 | FRIMS专用测量软件（FVA-S版） | ||||
工作环境 | 温度 | 20±2℃ | |||
湿度 | 30% ~ 80% | ||||
振动 | ＜0.002g, 低于15Hz | ||||
电源 | 210V ~ 230V, 50Hz/60Hz | ||||
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