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核心技术：
超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；
超低温成膜工艺与对应之设备技术；
**射频等离子体清洁工艺；
简介： 九大**： 客制化精密零件、自主研发、**远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力； 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式
核心技术：
超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；
超低温成膜工艺与对应之设备技术；
**射频等离子体清洁工艺；
先进性：
自有IP特殊Pre-treatment电极设计；
保证立体结构的完整包覆是借由设计TS Distance的优化，**的shielding box设计以及工艺参数的优化来达成；
独特的cathode设计特点
简介： 九大**： 客制化精密零件、自主研发、**远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理、6秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力； 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式
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