贝意克高温真空退火CVD系统 BTF-1200C-VI-SL-CVD-D210-参数-价格-中国粉体网

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一、产品特色

1、开启式加热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立8点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

2、开启式预热炉

加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配K型热电偶，上下独立4点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管。

3、气路系统可精确控制多路气体按不同流量进行混合配比，同时可同PLC进行联动控制。

4、反应管组件

反应管组件使用石英管，两端带水冷法兰组件快开卡箍，方便拆装维护清理。

5、智能控制系统

采用智能PID模糊控制，30段可编程控制。具有超温和断偶报警功能。

二、技术参数

**温度	1200℃
持续工作温度	≤1100℃
升温速率	≤10℃/min
控温精度	±1℃
加热元件	电阻丝
热电偶	K型
控温方式	模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能。
加热总功率	≤27KW
加热区尺寸	100+200mm（预热炉），100+200+200+200mm（加热炉）
真空度	≤5pa
设备尺寸	390012002000mm
设备重量	约1300KG

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