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型号 | 机组稳定抽速（L/S） | 空载极限真空（Pa） | 分子泵型号 | 前级泵 | 机组尺寸（mm，不含罗茨泵） |
FJ2000 | 2000 | 9×10-5 | FF-250/2000 | 干泵或旋片泵（可配罗茨泵） | 1000×600×1500 |
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