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| 适用工件： (Applicable parts) | 6"*1花篮，8"*1 pc花篮 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量产能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架SUS304+PP乳白板，槽体采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 运送方式： (Transportation) | 手动传送 (Manual) |
| 节拍时间： (Step time) | 依工艺可调 (Based on process,Adjustable) |
| 工艺效果： (Process effect) | 清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他说明： (Others) | 设备可以根据客户要求定制手动/半自动 (Customized:Semiautomatic or manual) |
| 适用工件： (Applicable parts) | 6"*1花篮，8"*1 pc花篮 6”*1 Cassette,8”*1 pc Cassette |
| 批量产能： (Capacity) | 1 batch/10min |
| 工艺流程： (Procedure flow) | 上料(手动)→超声碱性槽→HQDR槽→下料(手动) Load(Manual)→Ultrasonic Alkaline Tank→HQDR Tank→Unload (Manual) |
| 主要材料： (Major material) | 金属骨架SUS304+PP乳白板，槽体采用PPN/SUS316 (Metal frame SUS 304,Ice-cream PP board,Tank uses PPN/SUS316) |
| 运送方式： (Transportation) | 手动传送 (Manual) |
| 节拍时间： (Step time) | 依工艺可调 (Based on process,Adjustable) |
| 工艺效果： (Process effect) | 清除晶圆片表面的残余抛光液和大颗粒(Removal residual slurry and larger particle on the surface of wafer) |
| 其他说明： (Others) | 设备可以根据客户要求定制手动/半自动 (Customized:Semiautomatic or manual) |
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