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Marangoni干燥
1）： 适用于多种规格晶片的干燥；
2）： 独立的控制系统，可单独使用，也可整个模组兼容到自动清洗机上使用；
3）： 无机械运动机构，防止运行时晶圆破损；
4）： *小的活动部件提供更高的系统可靠性，降低设备维护费用；
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