出口直径（mm）：
-进口直径（mm）：
-泵轴位置：
其他驱动方式：
其他输送物料：
-连接方式：
其他材质：
其他口径：
-压力：
5*10-5Pa设计标准：
-
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设备特点与技术指标：
1、机组组成：复合分子泵+机械泵；
2、真空度：
A、设备真空度在分子泵启动到400Hz后优于3*10-3Pa;
B、30分钟以内优于5*10-5Pa;
C、极限真空5*10-5Pa。
3、机组特点:
机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率。
机组配置:
1、300升/600升水冷复合分子泵1台。
2、抽速12L/s机械泵1台。
3、40角阀一套。
4、高真空复合真空计1套。(包括电离规、电阻规)
5、直径108mm*高80mm（150mm*高200mm）真空室1套。
6、带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套。
7、水冷机1台。
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