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| 技术参数 | 净化前原氢指标（GB/T3634.2-2011） | 净化后超纯氢指标 |
|---|---|---|
| 纯度 | ≥99.999% | ≥99.9999999% |
| 含烃（以甲烷计，ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含O2（ppm） | ≤1ppm | ≤0.001ppm |
| 含N2（ppm） | ≤5ppm | ≤0.001ppm |
| 含H2O（ppm） | ≤3ppm | ≤0.001ppm |
| C的氧化物（ppm） | ≤2ppm | ≤0.001ppm |
在气相色谱分析中作载气，降低分析误差。
用于MOCVD中，超纯氢是MOCVD中*理想的携带气体。载气越纯，后续工艺越可控。
用于GaN和SiC外延技术的氢化物气相外延。
生产低功耗、小体积燃料电池。
产品简介
钯管式氢气纯化器是利用钯膜选择性透氢的特性，在钯膜一侧通入粗氢另一侧可得到超纯氢气。超纯氢气可用于大学、实验室以及工业化生产，特别在半导体终端和核车工上有不可替代性，
产品特点
出口气体各杂质≤1ppb
整机漏率≤1*10-10mbar.L/s.He
多温区设计，保证热均匀性
采用真空镀膜技术和独特的材料扩散工艺对其进行焊接
通过适时的改变温度、压力和注入有效气体避免氢脆、氢裂现象
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