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晶圆轮廓仪WEP-150EN/200EN/300EN系列可以非接触自动测定2"- 6"、4"- 8"、8"- 12"晶圆的边缘倒角形状以及切口面倒角形状的尺寸。选配自动上下料单元还可以实现全自动测量。
• 适用于2” 到 12”晶圆
• 适合于各种材质的晶圆
• 可测晶圆边缘倒角形状
• 可测晶圆切口面倒角形状
• 非接触测量，无污染，无损伤
• 可自动存储测量结果
• 操作界面友好，使用方便
• 针对晶圆测量设计，专业化水平高
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