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SEM纳米探针台产品实现了三维空间上的准确定位， 它具有分辨率高，尺寸紧凑，行程大，操作简单，能在真空下使用等优点，可应于SEM真空腔体内完成各种纳米精度运动操作。
SEM纳米探针台产品使用压电陶瓷驱动，运无需润滑，百分真空兼容，并可在很广的温度范围内工作。运动分辨率达到纳米级。步进和扫描双模式工作，在宏观行程范围内达到亚纳米分辨率的定位。
三轴探针台由三个单轴运动台组合而成。一SEM腔体内可安装多个三轴探针台。平上可安装电学探针、光纤探针、纳米镊子、金刚石纳米力压头、显微注射器等各类操纵和测量头，实现微纳操纵和测量的目的。
产品应用
单个探针指标
外形尺寸：L48.6mm*W32.2mm*H43.6mm
X/Y/Z轴行程：±10mm
X/Y/Z轴速度：~3mm/s
X/Y/Z轴运动分辨率：<0.5nm
Z轴**负载：270g
标准配置包含：
探针主体
适配SEM/FIB的底座
过真空法兰
探针控制器及控制手柄
选配：
低温、高温样品台
光纤夹头和光纤真空馈通
EBIC套件
产品特点
结构紧凑，高刚性
零间隙，高精度柔性铰链导向系统
压电陶瓷位移平台具有超长使用寿命
内部根据需求可增加位置反馈
应用：纳米材料操纵、纳米器件电学光电等物性测量、生物细胞DNA操作等
适配SEM：日本电子、 日立、FEI、 TESCAN等
应用案例
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