设备用途:设备可用于粉体、颗粒物料、硅负板材料气相沉积碳包覆等工艺的高温裂变。

。 设备主体尺寸:1800mmx1200mmx1700mm(以*终设计方案为准)。

0 回转炉体尺寸:中320mmx600mm(实际装填物料工作区尺寸}。

0 设备设计产能:炉内**填充率约为20%6;**批次处理3-5kg。

0 炉体倾角:-4~15座(自动可调)/简体转速:0.25~4转/分(变频可调)。

0 炉内气氛环境:满足高纯舞气(或者其他惰性气体)、乙炔、硅烷、甲烷等合气体。

。设备使用温度:设计**1100℃℃，炉内恒温时间跟据客户工艺可调，可长期运行于1000℃0 加热方式:内载电阻丝模块园周加热。

o 加热温区及控温个数:3个。

0 遥控系统:岛电触摸屏+岛电模块(支持所有温度数据采集并导出PC)0 控谣稳定性:+2%C/温控表精度:0.3°C/设备表面湿升:<60℃。

0 电源:三相，380VAC,50HZ。

。装机功率:30KW±10%。

0 报警保护:超温、断偶、超压，低压，气体泄漏等声光报警保护(指示灯指示)。

0 气体流量计:高情度不锈钢减压阀(调节进气压力)+质量流量控制器(控制显示实时流速和累计流速)+辅助氨气管路+玻璃转子透量计，为您预防断电无法供气的情况发生。