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参数 | 圆片（圆棒） | ||
直径（mm） | 76.2±0.3 | 100.0±0.3 | 125.2±0.3 |
长度（mm） | ≥80 | ≥60 | ≥50 |
轴向 | X、Y、Z、36°Y、42°Y | ||
晶片厚度（mm） | 0.35-1 | ||
基准边方向 | X、Y、112.2°Y | ||
基准边宽度（mm） | 22.0±2.0 | 32.0±2.0 | |
正面抛光 | Ra≤8A | ||
背面研磨（μm） | 0.2-4 | ||
平整度TTV（μm） | ≤10 | ||
PLTV（5×5mm；LTV＜1μm） | ≥97% | ≥95% | ≥90% |
弯曲度（μm） | ≤20 | ≤35 | ≤50 |
倒角 | 倒角 | ||
极化 | 完全 | ||
居里温度（℃） | 605.0±3.0 | ||
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