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技术参数 | |
生长工艺 | HVPE法 |
产品类型 | 非标定制 |
加热方式 | 电阻式加热 |
**温度 | 1100℃ |
恒温区尺寸 | 100mm |
控制方式 | PLC集成控制 |
系统真空检漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 | 循环水路系统 |
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