石墨舟的组成部分

石墨舟的分类

1.长度电极导电型	2.舟脚导电型	3.隔块导电型

石墨舟原材料

石墨舟改进成功方案

1.通用兼容型舟改造

方案：增加三个销钉孔

兼容规格：156-166   166-182   182-210

2.硅片减少划伤的石墨舟改造方案

方案：舟片内框及边缘增加倒角

说明：倒角分为：圆角（R角）斜角（C角）(坡角)

目的：减少机械手吸片操作时产生的机械划伤

3.石墨舟载片规格156型改166型改进方案

方案二：缩隔块，缩框与框的间距

说明：在不影响石墨舟承载硅片数量的前提下，修改隔块长度，修改框和框之间的间距

4.硅片减少划伤的石墨舟改造方案

方案：更换‘LV’销钉

说明：结合‘V’型销钉和‘U’型销钉，改进‘LV’销钉

目的：减少掉片率，减少划伤，减少硅片阴影面积

石墨舟的生产和质量管理

石墨舟的质量精度控制