电子级石英砂产品简介

产品定义

电子级石英砂是经超纯化工艺处理的高端石英材料，专为半导体、光电子等精密产业设计，核心指标为超低放射性元素含量（U、Th）与极限纯度，满足芯片制造、核医学检测等严苛场景需求。

核心特性

1. 放射性元素控制：

• 超高纯级：铀（U）< 0.5 ppb、钍（Th）< 0.5 ppb；

• 标准高纯级：铀（U）< 0.5 ppb、钍（Th）< 1 ppb；

2. 极限纯度：SiO₂≥99.9995%（5N5级），金属杂质总量＜5 ppm；

3. 热稳定性：热膨胀系数≤0.55×10⁻⁶/℃，耐受快速升降温（-200℃~1300℃）。

   
   

关键应用领域

1. 半导体制造

• 晶圆加工载具：用于硅片清洗、蚀刻工序，避免U/Th放射性污染导致芯片良率下降；

• 光刻机光学组件：低放射性石英透镜，确保极紫外（EUV）光刻精度。

2. 光电子器件

• 光纤预制棒沉积管、高能激光器窗口，需U/Th含量＜1 ppb以降低信号损耗。

3. 核医学与辐射探测

• 医用PET/CT探测器闪烁晶体原料，放射性指标直接影响成像分辨率。

4. 精密仪器

• 量子计算设备绝缘层、高灵敏度质谱仪腔体，要求材料本底辐射近乎为零。

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我司技术标准与优势

1. 纯度与放射性控制

2. 技术突破

• 原料超筛选技术：通过γ能谱仪预筛矿石，天然铀钍本底降低90%；

• 多级纯化工艺：集成“氯化提纯→真空脱羟→纳米过滤”，定向去除α粒子释放源（U/Th）；

• 检测能力：采用ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）与α谱仪，检测限低至0.1 ppb。

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质量保障体系

• 认证标准：符合SEMI F57（半导体级石英）、ASTM C1690（核医学材料）规范；

• 生产环境：千级洁净车间，避免外部污染；

• 追溯报告：每批次提供《放射性元素分析证书》及《超纯石英砂溯源档案》。

合作价值

1. 定制化供应：支持粒度（纳米级至毫米级）、形状（粉末/块体/熔融态）定制；

2. 快速响应：72小时内提供样品检测数据，量产交付周期≤30天；

3. 联合研发：为客户提供材料-工艺适配性优化方案，降低验证成本。

我司以U/Th＜0.5 ppb的电子级石英砂为核心，为半导体、医疗及尖端科研领域提供“零本底污染”材料解决方案，助力突破精密制造极限。