CXF-250/2301磁悬浮分子泵性能特点/Features●高洁净度、免维护、低振动、任意角度安装、更高的前级耐压、集成控制器●五轴磁悬浮轴承、转速可调、转子运转监控和自动平衡、断电自动保护、温度管理系统●防腐、低噪声、节能、体积更小重量更轻应用领域/Application硅刻蚀，离子注入，玻璃镀膜，PVD镀膜，科研应用，表面分析，加速器，太阳能，热处理。