日本建成90纳米半导体技术研究中心


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    在日本政府主导下,由日本官方研究所和10家半导体企业联合成立的“90纳米线宽半导体技术研究中心”2003年6月下旬正式投入运行。该中心由日本产业技术综合研究院主持运营,主要任务是开发先进的半导体制造技术和制订相应的标准。

    由产业技术研究院出面,花费315亿日元(约合3亿美元)在原NEC神奈川县的一所工厂内,建设了4500平方米的高规格的超净室并安装了先进的半导体制造设备,进行90纳米线宽的12英寸(300mm)硅圆片的集成系统(又称系统芯片,指在一块芯片上集成存储、运算、控制等多个系统——译者注)芯片的试制。90纳米约相当一根头发丝的800分之一。
该中心由日本产业技术研究院派出11名,以及由组成“先进集成系统合作研究体”的10家半导体企业共派出87名技术人员组成。2002年7月成立的该研究体,其目标就是为了开发用于数字家用电器的集成系统芯片。该研究体就设在神奈川县的相模原市。2003年6月起的研究课题为:90纳米线宽半导体制造工艺的开发和标准化。  

    该“90纳米线宽半导体技术研究中心”的负责人川手先生称,如果只靠一家公司开发90纳米线宽半导体生产工艺的标准化,则各公司将花费至少200亿日元。通过合作开发标准化的技术,将大大节省每家公司的投资。从2004年起,该研究中心将向出资的10家半导体企业转让所开发出的成果。   

    日本政府成立该研究中心就是为了将把各企业分别开发的半导体技术,通过将“合作研究体”和日本产业技术研究院的科技力量集中在一起,从而为恢复日本半导体业的竞争能力而共同奋斗。   

    目前,产业技术研究院和“先进集成系统合作联合体”正在对新一代半导体技术进行着近10个课题的研究。他们将把上述研究项目纳入新成立的研究中心,继续进行研究开发及成果推广。
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