我国硅材料研究快车行进


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  作为国债建设的一项重要成就,在12月2日开幕由国家计委、国家经贸委、财政部、国家统计局和北京市政府主办的“谱写现代化建设的新篇章———1998~2002年国债建设成果图片展”上,北京有色金属研究总院的硅材料研究成果吸引了众多参观者。展览显示,以该院为代表的我国硅材料研发力量已经可与世界同行并驾齐驱。
  此次展览中,由该院研制成功的我国第一根直径18英寸直拉硅单晶的实物引起众多参观者驻足。
  半导体硅单晶材料是半导体集成电路和器件的基础材料,世界上98%的半导体器件由硅片制造。与迅速增长的半导体集成电路和器件用量相对应,世界硅片需求量从1990年的20亿平方英寸增加到1999年的40亿平方英寸,年均增长8%以上。随着集成电路集成度的提高、芯片面积的增大和器件工艺的要求,硅片也在朝不断增加直径方向发展,集成电路的生产制造迫切要求采用更大直径的直拉硅单晶抛光片。据最新的《国际半导体技术指南(ITRS)》提供的资料显示,直径18英寸硅单晶抛
光片是直径12英寸硅单晶抛光片之后的下一代产品,是未来22纳米线宽64G集成电路的衬底材料,目前国际上仍处于基础研究阶段。北京有色金属研究总院成功拉制直径18英寸直拉硅单晶,标志着我国大直径硅单晶研究已经步入世界领先行列。
  北京有色金属研究总院是我国半导体材料研究、开发和生产的主要基地,分别于1992年、1995年和1997年拉制成功国内第一根直径6英寸、8英寸和12英寸直拉硅单晶;在国家计委支持下,于2001年建成我国第一条直径8英寸硅抛光片生产线,为我国微电子领域的持续技术创新和产业发展奠定了坚实基础。
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