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ITO一般指氧化铟锡,是由一定比例的铟锡氧化物混合而成。因ITO材料同时具有导电性和透光性,因此ITO靶材被普遍用在各类显示屏成像技术上。
电阻率和透光率是ITO薄膜的重要性能指标,而氧化铟锡粉末质量好坏直接决定了其性能指标的好坏,因此把控好氧化铟锡粉末的品质成为整条工艺流程的重中之重。而评价氧化铟锡粉体质量好坏的标准主要有粉体粒度、粉体均匀度和粉体杂质含量等。生产过程中需对上述指标进行严格把控,稍有偏差便可影响最终ITO薄膜的导电阻率和透光率。
在氧化铟锡制备方法中,除去国内外较为成熟的液相化学共沉淀法和均相共沉淀法等化学合成法,机械研磨法一直是一种简单、高效且成本最低的制备方法,但是由于传统卧式砂磨机使用超细研磨介质时极易堵网、卡珠,很难制备纳米级氧化铟锡粉,而且研磨后粉末粒度分布宽、杂质引入多,无法达到制备高质量ITO靶材的技术指标,一直得不到好的发展和推广。
叁星飞荣立式无机封无筛网砂磨机克服了上述难题,使机械研磨法制备纳米ITO成为现实。该设备通过对机械结构的全新设计和研磨机理的突破创新,开创性的采用立式研磨的方式,取消了困扰卧式机研磨效率的机械密封和筛网两大装置,首次采用无轴封、无筛网的结构方式,大大降低设备故障率的同时可使用超细研磨介质,极大地提高了设备的研磨极限,达到真正的纳米级;同时引入分级分离、分离研磨的机制,使得设备绝大部分功作用于大颗粒,使之研磨效率高,产品粒度分布窄,颗粒大小均匀,而且磨腔各部位颗粒受力均匀,也有一定球化处理效果,使得制备的粉体性能更优。
ITO研磨前后的SEM照片
叁星飞荣目前已经多家国内溅射靶材行业领军企业建立了长期合作关系,在ITO粉体研磨领域积累了丰富经验,设备质量经过下游厂家的严苛验证,同时公司可为客户定制完整的自动化智能研磨解决方案,协助客户打造智能产线、智慧工厂。
某客户案例
公司利用自身在砂磨机行业的强大优势,根据客户的工艺路线需求,设计超细粉体材料加工的整个工艺流程及设备--“开料-计量-投料-预混-超细研磨-干燥-破碎-(煅烧-破碎)-改性-包装”或其中部分流程的一体化设计方案,真正做到“交钥匙”到客户手中。