中国粉体网讯 3月6日，无锡卓瓷科技有限公司（简称：卓瓷科技）与东湖高新区签约，将在光谷落地卓瓷科技武汉研发生产基地项目。
此次签约项目落户东湖综保区，卓瓷科技将投资设立华中区域子公司，生产核心零部件静电卡盘、陶瓷加热器等产品，服务武汉及周边晶圆制造商。
据公开资料显示，卓瓷科技成立于2021年，专注于泛半导体领域陶瓷部件研发与生产，所生产产品广泛应用于半导体(集成电路)、液晶面板、纳米材料、电子医疗、航空航天等多行业领域。卓瓷科技核心团队在半导体、液晶显示、新能源等领域有着丰富的经验，公司先后与多所高等院校、研究所等展开深入的合作，产学研合作涵盖了公司现有及未来布局的大部分材料体系，针对氧化钇结构件及喷涂、氮化铝、导电陶瓷、低介电损耗陶瓷、碳化硅等先进陶瓷粉末材料；静电吸盘、加热器、APS、PVD涂层等核心零部件领域布局研发战略。其产品已进入华为等国内一流厂商，广泛应用于半导体、显示面板设备等，半导体业务占比约80%。
卓瓷科技部分产品
目前，静电吸盘广泛应用于集成电路制造工艺中，特别是刻蚀、PVD、CVD等核心工艺中，这其中的各个工序均需要保证晶圆的平稳固定，都需要静电卡盘进行夹持。陶瓷加热器应用于半导体薄膜沉积设备（CVD、PECVD、ALD）、激光退火设备的工艺腔室内，与晶圆直接接触，承载并使晶圆获得稳定、均匀的工艺温度及成膜条件。
随着全球晶圆厂的持续扩张，全球半导体设备及零部件保持快速增长，国内半导体陶瓷零部件市场规模增速高于全球，弗若斯特沙利文预计2026年市场规模将达到125亿元，但目前国内半导体结构陶瓷零部件市场国产化率仅19%。其中，国内高端陶瓷零部件陶瓷加热器和静电卡盘市场均有约30亿的空间，国产化率不足10%，国产替代空间巨大。
来源：中国光谷、卓瓷科技官微/官网、江苏直通车
（中国粉体网编辑整理/空青）
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