合成高纯石英砂,国内半导体产业链上又一短板!


来源:中国粉体网   平安

[导读]  半导体用合成高纯石英砂技术进展和产业化

中国粉体网讯  高纯石英砂按杂质含量及用途可分为光伏级、半导体级产品。半导体行业的应用对Li、Na、K、Fe、B等元素含量极为敏感,根据应用的不同,对金属杂质含量要求不同。随着半导体技术要求的提高,对高纯石英砂的要求也不断提升。而天然石英矿受本身伴生物质、生长环境的影响,纯度几乎到天花板,因此以化学合成工艺制备高纯石英砂,被认为是未来技术发展的主要方向之一。



合成石英砂以硅或含硅化合物为原料,通过化学反应制备二氧化硅,再经过提纯、焙烧、筛分等工艺,得到高纯石英砂。日本三菱化学突破了合成砂技术,所生产的超高纯合成砂金属杂质总量小于1ppm,成功应用于高端市场,对国内有进口限制。受限于合成成本、设备材质、生产周期、产品稳定性等因素,国内厂家大多处于研发、小试、中试阶段,未见大批量规模化生产。

半导体与光伏行业所用石英制品类型基本一致,但在纯度、表面颗粒物、尺寸精度等方面要求更为苛刻,最高级别纯度要求近6N,且需通过半导体设备厂商的认证,合成石英砂可满足此纯度要求。据悉,中建材衢州金格兰石英有限公司制备的合成石英砂攻克了气泡难题,其金属杂质含量小于1ppm,能够满足石英砣、石英坩埚的熔制需求。

2025年4月23-24日,由中国粉体网、中粉会展主办的“2025全国半导体行业用高纯石英材料产业发展大会”将在江苏南京召开,届时来自中建材衢州金格兰石英有限公司的教授级高工、副总经理花宁将做题为《半导体用合成高纯石英砂技术进展和产业化》的报告。



花宁,教授级高工。从事石英砂、石英材料及制品研发和制备工作10余年,研制出高纯不透明石英玻璃、高纯合成石英砂、高精度石英玻璃制品等产品。主持或参与多项国家和省级科研项目,其中包括:国家项目6项,省级项目5项。获得科技奖5项,发表论文10余篇,授权发明专利20余项,制定国家和行业标准10余项。

(中国粉体网编辑整理/平安)

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作者:平安

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