中国粉体网讯 近日,泰州市科技局发布了关于2025年度市级重点实验室拟立项建设项目的公示。其中,泰州市半导体陶瓷材料重点实验室在榜,依托单位为江苏集萃半导体陶瓷材料研究所有限公司。
作为半导体生产设备的关键部件,精密陶瓷部件的研发生产直接影响着半导体装备制造业乃至整个半导体产业链的发展。可以说,精密陶瓷部件是整个半导体产业基础中的基础。因此,要突破我国半导体产业面临的“卡脖子”窘境,必须重视精密陶瓷部件等半导体生产设备关键部件的国产化发展,开展产业共性与关键技术研发,以及陶瓷制备新工艺流程开发与优化是半导体产业国产化的重要环节。
江苏集萃半导体陶瓷材料研究所有限公司成立于2023年,专注于半导体陶瓷材料研发,拥有4000平方米的研发中试车间和2000平方米办公区域,配备先进陶瓷粉体处理设备、成型烧结设备及千级/百级洁净车间,满足半导体行业高精度需求。
江苏集萃半导体陶瓷材料研究所由清华大学新型陶瓷和精细工艺国家重点实验室、泰兴高新技术产业开发区、江苏省产业技术研究院、泰州市产业技术研究院四方共建。研究所以培育发展半导体材料和装备部件产业为目标,以突破半导体陶瓷材料产业共性与关键技术为重点,集聚半导体陶瓷材料技术领域顶尖人才团队,开展产业技术应用研究和集成创新,促进科技成果转移转化,衍生孵化科技型企业,完善产业链,培养高层次创新人才,持续研发半导体用精密陶瓷部件设计、配方工艺、烧结制造、精密加工等核心技术,实现关键零部件的国产替代,成为国内半导体装备用精密陶瓷零部件领域的行业领军者。
2024年4月28日,总投资额1.08亿元的江苏集萃半导体陶瓷材料研究所半导体装备用精密陶瓷部件生产项目正式开工建设。项目位于泰兴市高新区,厂房建筑面积约19000平方米,建成后,年可生产2万件IC装备用陶瓷零部件、5万件陶瓷基板和10万件陶瓷防弹板。
来源:泰州市科学技术局、泰兴发布、泰兴市重大工业项目掌上督系统
(中国粉体网编辑整理/空青)
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