马尔文帕纳科
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马尔文帕纳科
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Wafer XRD用于全自动晶圆拣选、生产和质量控制
特点
适用于3到8寸晶圆。也可根据要求提供其他尺寸
FOUP、载具或单个晶圆台
跨槽晶圆识别为可选功能
易于集成到任何工艺生产线中
测量速度:每个样品<10秒
典型标准偏差(倾斜度):例如Si 100<0.003°
MES和SECS/GEM接口
铜靶微焦点风冷X射线光管(**30W)或细焦点水冷X射线光管(**1.5kW)
完全符合CE标准的安全控制装置
通过3色灯塔指示状
材料
Si、SiC、GaAs、GaN、蓝宝石(Al₂O₃)、Ge、AIN、石英、InP和100s等。
可选插件
电阻率测量范围:0.01至0.020Ωcm
自动识别晶圆数据矩阵码、二维码、条形码或类似代码
未抛光晶圆和镜面的距离测量
年产1,000,000片晶圆
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企业名称
马尔文帕纳科企业类型
有限责任公司(外国法人独资)信用代码
310000400417821法人代表
SIMONPAULEAGLE注册地址
上海市闵行区元山路88弄9号成立日期
2005-03-22注册资本
200万(美元)有效期限
2005-03-22 至 2035-03-21经营范围
一般项目:实验分析仪器制造;仪器仪表制造;智能仪器仪表制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);虚拟现实设备制造;气体、液体分离及纯净设备制造;工业自动控制系统装置制造;专用仪器制造;仪器仪表修理;环境监测专用仪器仪表制造;通用设备制造(不含特种设备制造);其他通用仪器制造;专用设备修理;机械零件、零部件加工;机械设备租赁;特种设备销售;软件开发;软件销售;机械零件、零部件销售;环境监测专用仪器仪表销售;气体、液体分离及纯净设备销售;实验分析仪器销售;工业自动控制系统装置销售;电子产品销售;机械设备销售;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;标准化服务;销售代理;国内贸易代理;仪器仪表销售;商务代理代办服务;信息系统集成服务;智能仪器仪表销售;企业管理;企业管理咨询;信息技术咨询服务;租赁服务(不含许可类租赁服务);工业酶制剂研发;计量技术服务;数据处理和存储支持服务;货物进出口;技术进出口;进出口代理;企业总部管理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动) 许可项目:危险化学品经营;特种设备安装改造修理;特种设备制造;Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ、Ⅴ类放射源销售。(依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动,具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准