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回转CVD设备

回转CVD设备
  • 品牌:贝意克
  • 产地:安徽
  • 关注度:5323
  • 型号: BTF-1200C-V-R-280
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
  • 非金属电热元件:其他
  • 金属电热元件:铁铬铝丝
  • 烧结气氛:真空
  • 温控精度:±1℃
  • 最高温度:1200℃
  • 额定温度:1100℃
产品介绍

一、设备特点:

1、本设备提供一个五温区的超长温场,五个温区可独立控制

2、保温材料采用氧化铝纤维防尘处理,上下可电动开启。

3、流量计和加热采用模块化设计,便于维护保养。

4、加热元件采用康泰尔掺钼合金电阻丝,**使用温度可以达到1200度,温场均匀,使用寿命长。

5、采用触摸屏和工控电脑自动控制,参数设置和操作直观方便,参数自动记录保持。

6、设备集成化设计、以及集成化管理,美观方便。

 

二、设备组成:加热系统,炉管转动系统,螺旋送料系统、供气系统、真空系统、工控及操作系统。

1、加热系统:

该加热系统的加热腔体采用氧化铝纤维制品,其极低的热导率和比热容,保证了炉膛的快速升温和低蓄热,特别适合于科研实验处理,电力调制器控制;负载采用小电压大电流控制,从而大大提高了发热元件的寿命,测温元件为K型热电偶。采用单回路温控仪能够自整定PID 参数,无须操作人单位的材料工艺研究。加热元件选用电阻丝加热,适合中低温度加热系统。

高温真空电阻炉温度控制系统采用经典的闭环负反馈控制系统,控温仪表选用智能型程序温度调节仪表控员的干预,可自行根据不同温度曲线的升、降温要求调整输出信号,同时系统设置了超温、欠温、断偶报警保护功能,大大降低了对操作人员经验的要求。

 

2、炉管转动系统:

炉管转动系统可以让炉管360°匀速转动,转速在0-60r/min连续可调,且能在60r/min转速下长时间运行。管内壁有石英挡片帮助粉料翻转有助于烧结更均匀。

 

3、螺旋送料器:

先将样品储存于样品罐中,通过螺旋送料器将样品送入石英管内。送料完成之后送料杆退回到原始位置。周而复始,达到自动送料。


4、供气系统:

供气系统是一种可控制三种气体按不同流量进行混合配比,也可根据实验需求加装洗气装置,质量流量计安装于密封的可移动机柜内,由超洁双抛不锈钢管与精密双卡套接头连接组成,触摸屏控制。


5、真空系统:

真空机组,内部安装机械泵1台,电阻真空计1套,并含有配套使用的波纹管,手动挡板阀,卡箍等连接部件。

 

 

三、加热主体设备技术参数:

 

腔体尺寸

外径Φ280 ,Φ300,Φ400,Φ500,Φ600尺寸可选 (中间异型区域尺寸)

炉膛保温材料

氧化铝纤维

表面温度

≤60℃

加热元件

进口KTL电阻丝

加热区数量

5区,每个温度独立控制,使温场均匀性更好

加热区长度

300+300+300+300+300mm

恒温区长度

真空条件两端加氧化铝管堵的情况下,五个温区设定同一温度使恒温区可达1200mm

使用温度

1200℃

建议长时间使用温度

<1100℃

控温精度

±1℃

升温速率

0-20℃/min,建议升温速率10℃/min

设备功率

28KW

设备工作电源

380V/50HZ

热电偶型号

K型

控制器

可编程控温仪表,PID调节,升、降保温全自动

控温方式

人机界面加PLC控制,10寸液晶屏控制,数字工控仪表双控,采用工业智能控温仪表和软件实现双控,采用模糊型PID控制

无纸记录

内置存储记录运行工艺数据,外接USB接口,可以电脑连接一键拷贝数据

结构描述

设备可对半电动开启,加快冷却速度、表面温度低于60℃

转动密封收集系统

炉管一端配有不锈钢密封可转动水冷法兰、螺旋送料装置

 

四、3路供气系统参数

连接头类型

双卡套不锈钢接头

标准量程(N2)

500sccm、1000sccm、2000sccm(量程型号根据要求定制)

耐压

3MPa

接口

Φ6

显示

液晶屏显示

工作环境温度

5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管

Φ6

压力真空表

-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止阀

Φ6卡套接头

 

真空机组参数:

空气相对湿度

≤85%

工作环境

5℃~40℃

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

1千瓦

抽气速率

60m³/h

极限真空

5X10-1Pa

工作压力范围

1.01325X105~1.33X10-2Pa

耐压值

0.03MPa

容油量

1.1L

进气口口径

KF40

排气口口径

KF40

连接方式

采用波纹管,手动挡板阀与波纹管相连

电阻真空计参数:

配用规管:

ZJ-52T电阻规,

测量范围:

10 5 ~10 -1 Pa,

测量路数:

1路

控制范围:

 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

控制方式:

继电器触点输出,负载能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载

电源:

90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

功耗:

20W


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工商信息

企业名称

安徽贝意克设备技术有限公司

企业类型

信用代码

91340100591423143H

法人代表

注册地址

成立日期

注册资本

有效期限

经营范围

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安徽贝意克设备技术有限公司成立于2012年,基地位于安徽合肥,是一家集新材料设备研发、生产、销售与技术服务于一体的高科技企业。公司历经十余年的艰苦创业已由当年的行业追随者发展成为今天的行业领跑者。 公司重视技术攻关和产品研发,建有一流的产品研发中心,拥有一支由多名博士硕士组成的专业研发队伍,累计获得**200余项。并通过产学研合作,与北京大学南开大学等多所知名院校建立联合实验室及研究生联合培养基地 公司专注于新材料装备工艺开发及装备制造,产品门类

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