1.方块电阻范围sheet resistance range

10-5～2×105Ω/□

10-4～2×104Ω/□

2.电阻率范围

resistivity range

10-6～2×106Ω-cm

10-5～2×105Ω-cm

电导率范围Conductivity range

5×10-6～106ms/cm

5×10-5～105ms/cm

3.测试电流范围

test current range

0.1μA ，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA

4.电流精度current

±0.1% accuracy

软件界面

电阻、电阻率、方阻、温度、单位切换、温度系数、电流、电压、探针形状、探针间距、厚度 、电导率、图谱显示，压力设定，压强，报表导出，波形刷新，时间设定，启动、停止、运行