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产品简介
SNE-3000MS型台式扫描电镜是韩国SEC公司研制的基本型Mini-SEM，非常适合于主要用SEM在1万倍放大倍率下进行表面观察的用户。其分辨率为15nm，**放大倍数为6万倍；可通过U.I界面中鼠标控制简单、方便地操作3轴载台移动；能使用多种扫描模式与测试工具获得多种分析结果。
技术参数：
电子光学系统 | 分辨率 | 15nm（30kV， 二次电子成像） |
放大倍率 | 20x~60，000x | |
加速电压 | 1~30kV (1/5/10/15/20/30) | |
探测器 | 二次电子探测器（SE） | |
电子枪 | 预对中钨灯丝 | |
载台系统 | 载台运动 | 3轴系统 (X， Y， R) X， Y-轴: 40mm / R-轴: 360° * 影像偏移 : ±150μm * Tilt-轴 : 0~45°（选配） |
**样品尺寸 | 70mm（Φ）*30mm（H） | |
成像系统 | 自动功能 | 自动启动，自动聚焦，自动消像散，自动调节对比度与亮度 |
图像格式 | BMP， JPEG， PNG， TIFF | |
真空系统 | 真空模式 | 高真空 |
真空泵 | 旋转式机械泵/涡轮式分子泵（全自动） | |
尺寸与重量 | 主机 | 390(W)x380(D)x560(H)mm， 83kg |
控制单元 | 390(W)x325(D)x560(H)mm， 37kg | |
旋转泵 | 400(W)x160(D)x340(H)mm， 24kg |
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